石墨烯單晶晶圓是后硅CMOS時(shí)代最具競(jìng)爭(zhēng)力的電子材料，被認(rèn)為是未來(lái)碳基電子與光電子器件的重要材料基礎(chǔ)。六英寸單晶晶圓項(xiàng)目組結(jié)合課題組組內(nèi)單晶金屬襯底制備和石墨烯外延生長(zhǎng)的基礎(chǔ)，通過(guò)進(jìn)一步的工藝優(yōu)化和設(shè)備調(diào)試，成功在生產(chǎn)示范線(xiàn)的臥式CVD雙管爐體系實(shí)現(xiàn)了六英寸石墨烯晶圓的制備。千里之行，始于足下，六英寸單晶晶圓項(xiàng)目組將繼續(xù)著眼于石墨烯晶圓生長(zhǎng)的關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題，發(fā)展穩(wěn)定的批量制備工藝，從而為未來(lái)高品質(zhì)石墨烯單晶晶圓的可控制備和商業(yè)化發(fā)展做出貢獻(xiàn)。